pvt材料怎么运输
时间:2023-05-27 01:34:22
答案

pvt材料是通过物理气相传输法运输,具体如下:

物理气相传输法(Physical Vapor Transport,PVT),即在高温区将材料升华,然后输送到冷凝区使其成为饱和蒸气,经过冷凝成核而长成晶体。

使用PVT法生长SiC晶体时,使原料处于高温区,籽晶处于相对低温区,进而处于温度较高处的原料发生分解,不经液相态直接产生气相SiXCy物质(主要包含Si、Si2C、SiC2等),这些气相物质在轴向温度梯度的驱动下输运到籽晶处,在籽晶处形核、长大,最终结晶形成SiC单晶。

SiC原料表面到籽晶之间的温度梯度是SiC晶体生长的驱动力,通常设计的温度梯度在5-20K/cm之间,温度梯度越高,到达籽晶表面气相物质的过饱和度就越高,SiC晶体的生长速度越快。但速度过快(如沿晶体生长方向速度达0.5mm/h以上),则晶体极容易产生异质晶型,导致晶体生长过程失败。

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